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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯東代理美國 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機,利用低溫冷媒(-100度)通過盤管,將水蒸氣吸附在冷盤上,快速吸附占真空腔內殘留氣體 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機抽水氣效率高達 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣,目前 Polycold 冷凍機主要應用于半導體和真空鍍膜行業,客戶通過使用 Polycold 水汽深冷泵,產能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應用,可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵,羅茨泵,干泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機 Polycold  MaxCool 4000 H 是舊款型號PFC-1102 HC全新升級款!~

Polycold 冷凍機應用
Polycold 冷凍機利用新型無毒環保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統 LN2 冷卻法對比,冷媒可循環使用,大大降低了企業成本。Polycold 冷凍機主要應用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導體(晶圓加工)行業。

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優點:
低溫范圍:-98 至 -133C
真空抽氣時間縮短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高質量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對于液氮制冷 LN2,Polycold 冷凍機選用無毒、環保型冷媒,可循環使用
低功率,低能耗,最大負載 4000 W

Polycold MaxCool 冷凍機組成
上海伯東 Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機

A:Polycold 冷凍機主機(銅環和輪子可以選配,方便運輸)
B:外部冷凝管(外部連接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盤(低溫盤管)

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術參數:

標準性能

最大負載:Watts

4000

抽水汽效率(理論值):l/s

327,800

保守抽速:l/s

220,000

極限真空:mbar

7 x 10-8

啟動壓力:atm

1

除霜時間:分鐘

5.5

低溫盤管,連接管路

盤管表面面積:m2

2.2

單管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m


16
43

雙管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m


16
21.9

標準外部連接管長度:m

2.44

配套設施

冷卻水流量:rate l/min.
13 C?
26 C?

29 C?


13.6
27.3
54.1

功率 kW

19.2

工作噪音(最大):db

78

占地空間(最小):m3

34

重量:kg

533

 

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率:

上海伯東 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

美國 Brooks 旗下 Polycold  冷凍機(水汽深冷泵),超過40年的冷凍機研發及制造經驗。Polycold 冷凍機輔助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣,幫助企業顯著提升產能和鍍膜質量。Polycold 冷凍機廣泛應用于鍍膜和半導體廠商。上海伯東是美國 Polycold 冷凍機中國地區唯一指定總代理,全權負責 Polycold 銷售和售后維修服務。

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