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分子泵 OLED 設備抽真空
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分子泵 OLED 設備抽真空

Pfeiffer 分子泵 OLED設備上的應用
上海伯東為德國 Pfeiffer 普發真空在中國華東、華南地區的指定代理商,于近期成功銷售 Pfeiffer HiPace 700 系列分子泵,Penta 35 系列雙級旋片真空泵給國內知名專業從事 OLED設備制造商。并且成功替換該公司原先使用的日本低溫泵 (Cryo pump)。
OLED:有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode),又稱為有機電激光顯示(Organic Electroluminesence Display, OELD)。OLED具有自發光的特性,采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基板,當電流通過時,有機材料就會發光,而且OLED顯示屏幕可視角度大,并且能夠顯著節省電能。

客戶案例:國內知名專業從事 OLED設備制造商,此款 OLED 設備主要用于科研機構或大學實驗之用,基本技術要求如下:

1.  腔體體積: 約 150 L 左右

2.  極限真空度:1 x 10-7 mbar

3.  30 分鐘 – 1 小時內達到 5 x 10-5 mbar

4.  Gas: Ar, O2

此類 OLED 生產設備,用加熱使材料蒸發的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜。主要用于有機半導體材料的物理化學性能研究實驗、有機半導體器件的原理研究實驗及 OLED 工藝研究。Pfeiffer Hipace 系列分子泵搭配 Penta 35雙級旋片泵是其理想的選擇。

 

上海伯東代理的Pfeiffer HiPace 700系列分子泵具有以下這些優點:

1.   模塊化設計原則輕松滿足客戶多種應用需求

2.   集成可變頻驅動(TC 400)及電源供應系統,無需額外的控制

3.   分子泵可提供360°安裝方位

4.   標準水冷集成裝置

5.   標準的 RS-485 接線,可提供遠程控制

6.   可提供防腐蝕特定型號

7.   具有溫度傳感及控制單元,可保護分子泵的安全可靠運行

8.   業界最高的半導體 Semi S2 及 IP 54 防護等級

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